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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司

半自動(dòng)上蠟機(jī)

型號(hào)：DL-SL305A/SL360A

半自動(dòng)上蠟機(jī)采用固態(tài)蠟熔蠟方式，精確、定量滴蠟；精密氣壓控制，可精準(zhǔn)控制蠟厚，貼片后的TTV≤5um。

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半自動(dòng)上蠟機(jī)
設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 采用固態(tài)蠟熔蠟方式，精確、定量滴蠟。


◎ 加熱冷卻盤(pán)內(nèi)部采用精密加熱和自動(dòng)冷卻系統(tǒng)，可精確控制盤(pán)面溫度。


◎ 采用獨(dú)立氣缸壓片方式，精密氣壓控制，可精準(zhǔn)控制蠟厚。


◎ 貼片后的TTV≤5um。

性能參數(shù)
參數(shù)名稱單位DL-SL305ADL-SL360A
晶圓尺寸in?4'' (?2''/?4'')

?6'' (?4''/?6'')

陶瓷盤(pán)尺寸mm?305x15?360x15
噴蠟量
g0.1~0.350.1~0.35
加熱盤(pán)溫控范圍℃60~180

60~180

上蠟厚度TTV
um≤5≤5
噴蠟重復(fù)定位精度mm±0.05±0.05
噴蠟精度g±0.02±0.02
加壓氣缸Kg500~1000500~1000
設(shè)備尺寸（W x D x H）mm1350x1350x17001550x1550x1900
設(shè)備重量Kg約800約1000
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晶圓上蠟機(jī)根據(jù)客戶不同的需求進(jìn)行定制，滿足不同客戶的需求，擁有專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，設(shè)備精度高，使用壽命高，負(fù)責(zé)上門(mén)安裝調(diào)試及培訓(xùn)

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